技術論壇.
舉離製程（lift-off）薄膜無法去除問題
by:林丹琪
2023-01-10 17:19:53
請問使用電子束蒸鍍機鍍製金屬薄膜，但後續進行舉離製程（lift-off）時，薄膜無法去除，請問要如何解決呢？謝謝
參與討論內容
by:王亭鈞
2023-01-12 08:04:45
根據您描述的現象，應是上層薄膜品質太過緻密，造成光阻去除液無法有效滲透至底層與光阻層產生反應，建議您可以從三個方向調整 （1）提升鍍膜時的鍍率、（2）將製程的起始壓力維持在相對高壓的條件下（7x10^-6 torr）左右、（3）使用樣品不正常旋轉的鍍膜方式（垂直蒸鍍模式），以上的方式，都有機會可以讓您後續的舉離製程效果更好。
2023-01-12 08:04:45
根據您描述的現象，應是上層薄膜品質太過緻密，造成光阻去除液無法有效滲透至底層與光阻層產生反應，建議您可以從三個方向調整 （1）提升鍍膜時的鍍率、（2）將製程的起始壓力維持在相對高壓的條件下（7x10^-6 torr）左右、（3）使用樣品不正常旋轉的鍍膜方式（垂直蒸鍍模式），以上的方式，都有機會可以讓您後續的舉離製程效果更好。